[发明专利]掩膜板本体、掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201611218750.1 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106591775B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震;张健 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板本体，包括至少一个掩膜区和环绕在所述掩膜区周围的非掩膜区，所述掩膜板本体沿预设拉伸方向延伸的边缘的对应于所述掩膜区的部分设置为弯曲部；从所述弯曲部的至少一端至所述弯曲部的中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区沿所述预设拉伸方向延伸的边缘；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向或宽度方向。相应地，本发明还提供一种掩膜板及其制作方法。本发明能够改善掩膜板的掩膜区两侧的褶皱现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 掩膜区 弯曲部 拉伸方向 预设 非掩膜区 褶皱现象 阶梯式 延伸 制作 环绕 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板本体，包括至少一个掩膜区和环绕在所述掩膜区周围的非掩膜区，其特征在于，所述掩膜板本体沿预设拉伸方向延伸的边缘的对应于所述掩膜区的部分设置为弯曲部；从所述弯曲部的至少一端至所述弯曲部的中部，所述弯曲部逐渐靠近或呈阶梯式靠近所述掩膜区沿所述预设拉伸方向延伸的边缘；所述预设拉伸方向为所述掩膜板本体的长度方向或宽度方向。
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