[发明专利]一种含硅陶瓷涂层的制备方法在审
申请号: | 201611223996.8 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN108238799A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 王谋华;吴永龙;张文礼;张文发;刘伟华;吴国忠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/584 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 薛琦;邹玲 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种含硅陶瓷涂层的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:(1)配制聚碳硅烷溶液,将载体浸渍在聚碳硅烷溶液中,浸渍压力0.1‑5MPa,浸渍温度25℃‑80℃;(2)取出,烘干,将构件进行不熔化处理,所述不熔化处理为氧化交联、辐照交联或热交联;(3)将构件置于炉内,在还原性气体气氛下,升温至300‑1000℃,保温进行脱碳处理,关闭还原性气体,通入惰性气体,升温至1000‑1600℃进行烧结,冷却后取出;将构件再按步骤(1)~(3)循环处理5‑11次,即可。本发明的制备方法灵活多变,可操作性强,可以获得近化学计量比碳化硅涂层,也可获得绝缘性好的氮化硅陶瓷涂层,实现元素组成可控。 | ||
搜索关键词: | 制备 浸渍 聚碳硅烷溶液 不熔化处理 含硅陶瓷 取出 还原性气体气氛 近化学计量比 氮化硅陶瓷 还原性气体 碳化硅涂层 惰性气体 辐照交联 脱碳处理 循环处理 氧化交联 元素组成 烧结 绝缘性 热交联 烘干 可控 炉内 保温 配制 冷却 灵活 | ||
【主权项】:
1.一种含硅陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:(1)配制聚碳硅烷溶液,将载体浸渍在聚碳硅烷溶液中,浸渍压力0.1‑5MPa,浸渍温度25℃‑80℃;(2)取出,烘干,将构件进行不熔化处理,所述不熔化处理为氧化交联、辐照交联或热交联;(3)将构件置于炉内,在还原性气体气氛下,升温至300‑1000℃,保温进行脱碳处理,关闭还原性气体,通入惰性气体,升温至1000‑1600℃进行烧结,冷却后取出;将构件再按步骤(1)~(3)循环处理5‑11次,即可。
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