[发明专利]X射线分析装置有效

专利信息
申请号: 201611227026.5 申请日: 2016-12-27
公开(公告)号: CN107957430B 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 丸井隆雄;伊藤武史;中村健一郎 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N23/223 分类号: G01N23/223
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够容易地确认出射窗口的污染的X射线分析装置。X射线分析装置(1)包括能够移动至覆盖开口部(51a)的测定状态和开放开口部(51a)的非测定状态的保护外壳(20),X射线管(10)将在阳极(11)的端面产生的X射线从框体(13)的出射窗口(13a)出射,检测器(30)检测通过向试样照射X射线而在试样上产生的X射线的强度,光阑(41)在非测定状态时被配置于X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方,另一方面,在测定状态时被从X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方移除,所述X射线分析装置(1)具有用于在测定状态时对X射线管(10)的出射窗口(13a)进行摄像的摄像装置(45)。
搜索关键词: 射线 分析 装置
【主权项】:
一种X射线分析装置,其特征在于,包括:装置主体部,其在内部配置有X射线管、检测器和光阑,并在测定时在上表面的开口部载置有试样;以及保护外壳,其能够移动至覆盖所述开口部的测定状态和开放所述开口部的非测定状态,所述X射线管具有:框体,其形成有出射窗口;阳极,其端面被配置在所述框体的内部;以及阴极,其被配置于所述框体的内部,在所述阳极的端面产生的X射线从框体的出射窗口出射,所述检测器检测通过向所述试样照射X射线而在所述试样上产生的X射线的强度,所述光阑在所述非测定状态时被配置于所述X射线管的出射窗口的前方,另一方面,在所述测定状态时被从所述X射线管的出射窗口的前方移除,所述X射线分析装置包括用于在所述测定状态时对所述X射线管的出射窗口进行摄像的摄像装置。
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