[发明专利]一种基于石墨烯的超薄柔性电容式触控传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201611232633.0 申请日: 2016-12-28
公开(公告)号: CN106648272B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 王炜;谭化兵 申请(专利权)人: 无锡第六元素电子薄膜科技有限公司
主分类号: G06F3/044 分类号: G06F3/044;B23K26/36;C23C16/04;C23C16/26
代理公司: 11686 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 肖淑芳
地址: 214000 江苏省无锡市惠山经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于石墨烯的超薄柔性电容式触控传感器,包括:超薄的柔性膜,包括a面和b面;a面和b面分别设有通道电极;设置于a面的第一导电层,所述第一导电层通过设置于a面的通道电极与电容式触控传感器的电容感应芯片连接,所述第一导电层由一层或多层石墨烯薄膜图案化而成;设置于第一导电层表面的第一光学胶层;设置于b面的第二导电层,所述第二导电层通过设置于b面的通道电极与电容式触控传感器的电容感应芯片连接,所述第二导电层由一层或多层石墨烯薄膜图案化而成;设置于第二导电层表面的第二光学胶层。
搜索关键词: 第二导电层 第一导电层 电容式触控传感器 通道电极 多层石墨烯 薄膜图案 电容感应 光学胶层 芯片连接 超薄柔性 柔性膜 石墨烯
【主权项】:
1.一种基于石墨烯的超薄柔性电容式触控传感器,其特征在于:包括:/n超薄的柔性膜,包括a面和b面;/na面和b面分别设有通道电极;/n设置于a面的第一导电层,所述第一导电层通过设置于a面的通道电极与电容式触控传感器的电容感应芯片连接,所述第一导电层由一层或多层石墨烯薄膜图案化而成;/n设置于第一导电层表面的第一光学胶层;/n设置于b面的第二导电层,所述第二导电层通过设置于b面的通道电极与电容式触控传感器的电容感应芯片连接,所述第二导电层由一层或多层石墨烯薄膜图案化而成;/n设置于第二导电层表面的第二光学胶层;/n所述电容式触控传感器的制备包括如下步骤:/n1)通道电极的形成/n将超薄的柔性膜的两面分别记为a面和b面,并在两面表面分别制作电容式触控传感器的通道电极和定位标;/n2)a面结构的形成/n在超薄的柔性膜的a面上,转移石墨烯薄膜,再对a面的石墨烯膜进行图案化处理,使其形成第一层透明触控传感区域电极的图案,第一导电层制作完毕;之后再在图案化的石墨烯膜表面贴合光学胶层;/n3)b面结构的形成/n采用在气相沉积法得到的金属衬底上复合石墨烯膜的复合结构,在石墨烯转移至超薄的柔性膜的b面之前对石墨烯膜进行图案化处理,形成第二层透明触控传感区域电极的图案及定位标图案,第二导电层制作完毕;再通过定位标精准的转移至超薄的柔性膜的b面,之后再在b面石墨烯膜的表面贴合光学胶层,即可。/n
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