[发明专利]一种缺陷检测装置及方法有效
| 申请号： | 201611237170.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108254379B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 周钰颖 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种缺陷检测装置及方法，所述缺陷检测装置包括光学单元，用于对发光面板成像；探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；以及处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像；所述缺陷检测方法，包括利用微动单元使得探测单元的感光面相对于发光面板的像发生位置的振动，探测单元采集振动状态下发光面板在光学单元上的成像，处理单元对采集图像进行分析处理，可以避免莫尔条纹的影响，提高了图像信噪比，无复杂的滤波算子或频域变化，提高检测精度，提高缺陷检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括光学单元，用于对发光面板成像；探测单元，放置在光学单元的像面上，用于接收发光面板的成像；微动单元，用于使探测单元感光面相对于发光面板的像发生位置的振动；以及处理单元，和探测单元相连接，用于分析处理探测单元采集的图像。
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