[发明专利]MEMS麦克风封装结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201611247489.8 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108260060B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 黄昱程 | 申请（专利权）人： | 碁鼎科技秦皇岛有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 薛晓伟 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风封装结构，包括一麦克风外壳、一封装载板及至少一MEMS芯片，该MEMS芯片及该麦克风外壳设置在该封装载板上，该封装载板与该麦克风外壳结合形成一收容腔，该MEMS芯片收容在该收容腔内且与该封装载板电性连接，该MEMS芯片包括一振膜；该封装载板包括至少一激光凹槽，该激光凹槽与该振膜位置相对且被该MEMS芯片完全封闭。本发明还涉及一种MEMS麦克风封装结构的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 封装 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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