[发明专利]用于屏蔽光罩的设备有效
| 申请号： | 201611257096.5 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN107015441B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 郑文豪;游秋山;吴小真 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种用于屏蔽光罩的设备。所述设备包括场产生器，用以产生场屏蔽以保护光罩免于外来粒子的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 屏蔽 设备 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括场产生器，用以产生场屏蔽以保护光罩免于外来粒子污染。
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