[发明专利]构件处理组件和处理构件的方法在审

专利信息
申请号: 201611260415.8 申请日: 2014-11-10
公开(公告)号: CN106970314A 公开(公告)日: 2017-07-21
发明(设计)人: A.维伊斯贝克;S.科兹里;M.肖勒;G.拉梅 申请(专利权)人: 罗斯柯公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司72001 代理人: 王玮,张昱
地址: 德国科*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种构件处理组件,包括载体,其包括构造成支承多个构件的表面,所述表面具有限定于所述表面中的多个孔;真空发生器,其构造成与所述多个孔连通布置,使得真空经由所述多个孔施加到支承在所述载体的表面上的构件,以使构件保持在所述载体的表面上;以及真空传感器,其构造成监测施加到支承在所述载体的表面上的构件的真空水平。
搜索关键词: 构件 处理 组件 方法
【主权项】:
一种构件处理组件,包括:载体,其包括构造成支承多个构件的表面,所述表面具有限定于所述表面中的多个孔;真空发生器,其构造成与所述多个孔连通布置,使得真空经由所述多个孔施加到支承在所述载体的表面上的构件,以使所述构件保持在所述载体的表面上;以及真空传感器,其构造成监测施加到支承在所述载体的表面上的构件的真空水平。
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