[实用新型]一种晶片研磨剂混合输送装置有效

专利信息
申请号: 201620011540.4 申请日: 2016-01-05
公开(公告)号: CN205310071U 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 徐亮 申请(专利权)人: 苏州普锐晶科技有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215129 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种晶片研磨剂混合输送装置,包括依次连接的反应釜、保温过滤设备、研磨剂存储设备以及研磨剂输送管;反应釜设有搅拌器、温度测试仪、粘度测试仪,顶部设有进料口,底部设有出料口;出料口设有出料阀门;保温过滤装置包括倾斜设置的中空柱体,其设有流体进口与流体出口;中空柱体内,在流体进口与流体出口之间设置600目的滤网,外侧壁设有加热装置;研磨剂存储设备为圆柱型,外侧壁设有振动器,侧壁上部设有研磨剂入口,侧壁下部设有研磨剂出口。本实用新型有效、简单的去除研磨剂中不符合要求的无机颗粒,极大提高了研磨效果。利用本实用新型的装置,晶片研磨处理成品不良率低至0.5%,取得了意想不到的技术效果。
搜索关键词: 一种 晶片 研磨剂 混合 输送 装置
【主权项】:
一种晶片研磨剂混合输送装置,其特征在于:所述晶片研磨剂混合输送装置包括依次连接的反应釜、保温过滤设备、研磨剂存储设备以及研磨剂输送管;所述反应釜包括温度测试仪、粘度测试仪;所述反应釜顶部设有进料口,底部设有出料口;所述出料口设有出料阀门;所述保温过滤装置包括倾斜设置的中空柱体;所述中空柱体设有流体进口与流体出口;所述中空柱体内,在流体进口与流体出口之间设置600目的滤网;所述中空柱体外侧壁设有加热装置;所述研磨剂存储设备外侧壁设有振动器;所述研磨剂存储设备顶部设有研磨剂入口,侧壁下部设有研磨剂出口;所述研磨剂存储设备的体积为5~6升;所述反应釜的出料口与中空柱体的流体进口连接;所述中空柱体的流体出口与研磨剂存储设备的研磨剂入口连接;所述研磨剂存储设备的研磨剂出口与研磨剂输送管连接。
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