[实用新型]一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，包括腔体；所述腔体由不锈钢板材、氧化铝镀层、铝板和陶瓷片组成；不锈钢板材表面喷涂有氧化铝镀层，所述氧化铝镀层表面覆盖可拆卸铝板和陶瓷片，所述铝板和陶瓷片通过铝合金紧固件固定在氧化铝镀层上；所述腔体的上端开设有工艺化学气体入口和电性连接有RF射频电源，在腔体的上方内壁上固定有等离子喷射器，所述等离子喷射器的下方设置有导电载板；所述铝板和陶瓷片内部嵌入铝合金板。在氧化铝陶瓷板内部嵌入铝合金板，能让腔体内的正负离子按设计理想方向流动，拆装方便，氧化铝陶瓷板能有效阻挡高能粒子对涂层的轰击，保证腔体内反应环境不受金属离子污染。

主权项

一种太阳能电池片工艺用的反应腔的腔体结构，包括腔体(3)；其特征是；所述腔体(3)由不锈钢板材(31)、氧化铝镀层(32)、铝板(33)和陶瓷片(34)组成；不锈钢板材(31)表面喷涂有氧化铝镀层(32)，所述氧化铝镀层(32)表面覆盖可拆卸铝板(33)和陶瓷片(34)，所述铝板(33)和陶瓷片(34)通过铝合金紧固件(331)固定在氧化铝镀层(32)上；所述腔体(3)的上端开设有工艺化学气体入口(1)和电性连接有RF射频电源(4)，在腔体(3)的上方内壁上固定有等离子喷射器(2)，所述等离子喷射器(2)的下方设置有导电载板(8)，在所述导电载板(8)与等离子喷射器(2)之间设置有等离子体(6)，导电载板(8)的上表面设置有刻蚀片(9)，导电载板(8)的底面电性连接有RF射频直流电源(5)，所述RF射频直流电源(5)的另一端接地；在所述腔体(3)的底面的左端连接有真空泵(7)。