[实用新型]一种节水型芯片清洗装置有效
| 申请号： | 201620095836.9 | 申请日： | 2016-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN205324264U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 于如远;于强 | 申请（专利权）人： | 济南金锐电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;B08B15/02 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 曹玉琳 |
| 地址： | 250200 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜和进水管，所述作业柜上设置将作业柜密封的排气罩，所述排气罩的顶部设有上抽风口，所述作业柜内设置酸槽和水槽，所述酸槽的底部设置排酸管，所述水槽内设置喷雾槽和冲水槽，所述喷雾槽内设有喷雾头，所述喷雾头上设有第一进水支管，所述喷雾头通过第一进水支管与进水管连通，所述喷雾槽的底部设有第一排水管，所述冲水槽内设有第二进水支管，所述冲水槽通过第二进水支管与进水管连通，所述冲水槽的底部设置第二排水管。本实用新型将芯片放入冲水槽内清洗之前，先经过喷雾槽使用高纯水进行喷水清洗，可以节约水资源，降低成本，可以提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节水 芯片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种节水型芯片清洗装置，包括作业柜(1)和进水管(2)，其特征是：所述作业柜(1)上设置将作业柜(1)密封的排气罩(3)，所述排气罩(3)的顶部设有上抽风口(4)，所述作业柜(1)内设置酸槽(5)和水槽(6)，所述酸槽(5)的底部设置排酸管(7)，所述水槽(6)内设置喷雾槽(8)和冲水槽(9)，所述喷雾槽(8)内设有喷雾头(10)，所述喷雾头(10)上设有第一进水支管(11)，所述喷雾头(10)通过第一进水支管(11)与进水管(2)连通，所述喷雾槽(8)的底部设有第一排水管(12)，所述冲水槽(9)内设有第二进水支管(13)，所述冲水槽(9)通过第二进水支管(13)与进水管(2)连通，所述冲水槽(9)的底部设置第二排水管(14)。
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