[实用新型]晶圆固定装置及晶圆真空包装盒

摘要

本实用新型提供一种晶圆固定装置及晶圆真空包装盒，包括：托盘，托盘的表面设有多个等高的支撑柱；圆环形压盖，位于托盘的上方，适于在晶圆放置于所述支撑柱上之后，压置于晶圆的正面。采用表面设有多个支撑柱的托盘及圆环形压盖放置及固定晶圆，相邻的晶圆被分开放置，彼此不直接相接触，避免了因接触产生的静电；晶圆与固定装置仅部分接触，在包装及运输的过程中不会对晶圆的表面造成污染；使用圆环形压盖将晶圆压置在托盘上卡紧固定，可以避免在运输的过程中对晶圆造成变形破损。

主权项

一种晶圆固定装置，适于晶圆的放置及固定，其特征在于，所述晶圆固定装置包括：托盘，所述托盘的表面设有多个等高的支撑柱；圆环形压盖，位于所述托盘的上方，适于在所述晶圆放置于所述支撑柱上之后，压置于所述晶圆的正面。