[实用新型]直写式曝光机中用于激光一分N的系统有效
| 申请号： | 201620549857.3 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206270650U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 杨文 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统，包括单个激光器以及n个分光单元；其中，分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜；所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上，一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元，进而实现一束光源一分N束；本实用新型大大降低了生产成本，使用单个激光器发出光束经过N个分光单元实现N个光束进行曝光，并且使用一个高功率激光器，通过光学系统对其进行精准分光，通过电子控制激光器的脉冲频率可以精准改变激光器的出射能量，满足不同需求的曝光能量；通过微调玻片可以保证各组光路的出射能量高度一致。 | ||
| 搜索关键词： | 直写式 曝光 用于 激光 一分 系统 | ||
【主权项】：
一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统，其特征在于，包括：单个激光器以及n个分光单元；其中，分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜；所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上，一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元，进而实现一束光源一分N束。
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