[实用新型]柔性电路板曝光装置有效
| 申请号： | 201620549862.4 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206272962U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 茆晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种柔性电路板曝光装置，包括曝光平台和曝光光路，曝光平台为roll to roll平台，曝光光路设置在曝光平台的上方，曝光光路由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f‑theta镜，二维震镜、激光器和f‑theta镜均设置在支撑板上，两个二维震镜设置在支撑板的一侧，激光器设置在其中一个二维震镜的上方，f‑theta镜设置在支撑板的一侧，位置与另一个二维震镜对应。经过二维震镜的光最后由f‑theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上，曝光平台将柔性电路板展开并平整；曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台上，并以此循环。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电路板 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种柔性电路板曝光装置，其特征在于，包括曝光平台（2）和曝光光路（1），曝光平台（2）为roll to roll平台，曝光光路（1）设置在曝光平台（2）的上方，曝光光路（1）由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板（6）、二维震镜（3）、激光器（4）和f‑theta镜（5），二维震镜（3）、激光器（4）和f‑theta镜（5）均设置在支撑板（6）上，两个二维震镜（3）设置在支撑板（6）的一侧，激光器（4）设置在其中一个二维震镜（3）的上方，f‑theta镜（5）设置在支撑板（6）的一侧，位置与另一个二维震镜（3）对应。
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