[实用新型]一种用于多台多晶硅炉的中央真空系统有效
| 申请号： | 201620825881.5 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN206144790U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 潇然;荣易;吴彬 | 申请（专利权）人： | 上海伊莱茨真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/00 | 分类号： | F04C25/00;F04C25/02;C01B33/021 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 201709 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。进一步地，本实用新型还提供了一种用于多台多晶硅炉的中央低真空系统以及一种用于多台多晶硅炉的中央高真空系统，从而为所有投入运行的多晶硅炉提供相应的真空要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 中央 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种用于多台多晶硅炉的中央混合真空系统，其特征在于，所述中央混合真空系统包括高真空子系统和低真空子系统；所述高真空子系统包括高真空管道和至少两组并联的联合泵组，所述联合泵组为串联的罗茨泵和1#滑阀泵；所述低真空子系统包括粗真空管道和至少两台并联的2#滑阀泵；每台所述多晶硅炉分出两条均装设有阀门的支路，其中一条支路直接与所述低真空子系统连接，另外一条支路上装设有一台管道罗茨泵然后与所述高真空子系统连接。
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