[实用新型]一种样品表面照明光斑位置监测光路有效
| 申请号： | 201620903538.8 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN206192274U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光学技术领域，公开了一种样品表面照明光斑位置监测光路，包括光源，所述光源斜入射至所述样品表面，部分光自所述样品表面射回空气中，形成反射光；反射镜，所述反射镜接收所述反射光，并改变所述反射光的传输方向；位置探测器，所述位置探测器接收所述反射镜改变传输方向后的反射光。本实用新型解决了现有技术中通过直接探测照明区域散射光的方法实现样品表面照明光斑位置监测时，探测信号减弱或无法探测到信号的问题。通过探测样品表面反射光的位置间接得到样品表面照明光斑位置，避免了探测信号的减弱，并适用于样品散射极弱的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 表面 照明 光斑 位置 监测 | ||
【主权项】：
一种样品表面照明光斑位置监测光路，其特征在于，所述样品表面照明光斑位置监测光路包括：光源，所述光源斜入射至所述样品表面，部分光自所述样品表面射回空气中，形成反射光；反射镜，所述反射镜接收所述反射光，并改变所述反射光的传输方向；位置探测器，所述位置探测器接收所述反射镜改变传输方向后的反射光。
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