[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201621014790.X | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206164843U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦;詹竣凯;周宗燐 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风，背极包括悬空在背腔上方的背极主体，以及位于背极主体边缘并与所述背极主体一体成型的连接部；在所述连接部的下方设置有第一补强部，所述连接部沉积在第一补强部的上方，且所述背极主体的上端面与所述第一补强部的上端面齐平，所述背极主体的下端面与所述第一补强部的下端面齐平。本实用新型的MEMS麦克风，在所述背极的连接部位置形成了对连接部进行结构补强的第一补强部，从而提高了背极连接部的机械强度，避免了撕裂问题的发生，提高了麦克风机械跌落时的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(7)，在所述衬底(7)上设置有由振膜(1)和背极构成的平板电容器结构；所述背极包括悬空在背腔上方的背极主体(3)，以及位于背极主体(3)边缘并与所述背极主体(3)一体成型的连接部(4)；在所述连接部(4)的下方设置有第一补强部(5)，所述连接部(4)沉积在第一补强部(5)的上方，且所述背极主体(3)的上端面与所述第一补强部(5)的上端面齐平，所述背极主体(3)的下端面与所述第一补强部(5)的下端面齐平。
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