[实用新型]一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备有效
| 申请号： | 201621043632.7 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN206209293U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 熊启龙;鄢红军 | 申请（专利权）人： | 深圳清溢光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518057 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备，包括可以装载掩膜版并且能够进行自身旋转的旋转载盘和两根具有朝自身长度方向延伸的狭缝出液臂，所述狭缝出液臂能够移动至所述旋转载盘的上方任意位置；所述狭缝出液臂朝向旋转载盘的一侧安装狭缝列阵，所述狭缝列阵由若干个狭缝组成。本装置应用于掩膜版制造中的显影工艺，可以保证显影液的出液压力、出液面积以及出液角度的一致性，在极短的时间内在大尺寸掩膜版上完全覆盖足够厚的显影液层，阻止显影液收缩，满足图形精度和精度均匀性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 配合 显影 设备 | ||
【主权项】：
一种旋覆与狭缝液帘配合的显影设备，其特征在于包括可以装载掩膜版并且能够进行自身旋转的旋转载盘和两根具有朝自身长度方向延伸的狭缝出液臂，所述狭缝出液臂能够移动至所述旋转载盘的上方任意位置；所述狭缝出液臂朝向旋转载盘的一侧安装狭缝列阵，所述狭缝列阵由若干个狭缝组成。
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