[实用新型]一种适用于管式PECVD的石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟，包括石墨舟舟片，石墨舟舟片上沿石墨舟舟片的长度方向间隔开设有复数个卡槽，每个卡槽的外边缘均设置有卡点，卡点包括位于卡槽的一侧部的第一卡点、位于卡槽的另一侧部的第二卡点及位于卡槽的底部的第三卡点，其中，第一卡点位于区域d，区域d为第一卡点对应的硅片的侧边的边长从下至上的[1/2，3/4]之间的区域；第二卡点位于区域c，区域c为第二卡点对应的硅片的侧边的边长a从下至上的[1/2，1)之间的区域；第三卡点位于区域b，区域b为第三卡点对应的硅片的底边的边长a从左至右的[1/2，1)之间的区域。其能够提高硅片在石墨舟内和石墨舟舟片的贴合紧密程度，从而保证镀膜均匀性，提高导电性。

主权项

一种适用于管式PECVD的石墨舟，包括石墨舟舟片(1)，所述石墨舟舟片(1)上沿所述石墨舟舟片(1)的长度方向间隔开设有复数个卡槽(2)，其特征在于，每个所述卡槽(2)的外边缘均设置有用于放置硅片(6)的卡点，所述卡点包括位于所述卡槽(2)的一侧部的第一卡点(3)、位于所述卡槽(2)的另一侧部的第二卡点(4)及位于所述卡槽(2)的底部的第三卡点(5)，其中，所述第一卡点(3)位于区域d，所述区域d为所述第一卡点(3)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，3/4]之间的区域；所述第二卡点(4)位于区域c，所述区域c为所述第二卡点(4)对应的所述硅片(6)的侧边的边长a从下至上的[1/2，1)之间的区域；所述第三卡点(5)位于区域b，所述区域b为所述第三卡点(5)对应的所述硅片(6)的底边的边长a从左至右的[1/2，1)之间的区域。