[实用新型]超低浓度水汽发生装置

摘要

本实用新型公开了一种超低浓度水汽发生装置，包括气源贮存机构、混合容器、第一输气管路、第二输气管路、水汽饱和器与计量阀。水汽饱和器与计量阀沿着气流方向依次设置在第一输气管路上，水汽饱和器用于将第一输气管路中的气流加湿处理。计量阀能够防止第一输气管路中的气流逆向流动。计量阀还能够精确调整第一输气管路输出至混合容器中的气流的压力，起到调整气流中水汽含量的作用。第一输气管路将干燥气流通过水汽饱和器加湿转变成湿气流后输送至混合容器中，第二输气管路将干燥气流输送至混合容器中与加湿的湿气流混合处理，从而能够进一步调整湿气流中的水汽含量。本实用新型能够得到水汽含量为PPM级别的低湿水汽。

主权项

超低浓度水汽发生装置，其特征在于，包括：气源贮存机构与混合容器，所述气源贮存机构用于提供干燥气源；第一输气管路与第二输气管路，所述第一输气管路一端、所述第二输气管路一端与所述气源贮存机构相连通，所述第一输气管路另一端、所述第二输气管路另一端连通至所述混合容器；水汽饱和器与计量阀，所述水汽饱和器与所述计量阀沿着气流方向依次设置在所述第一输气管路上，所述水汽饱和器用于将所述第一输气管路中的气流加湿处理，所述计量阀用于对所述第一输气管路中的气流膨胀降压处理。