[实用新型]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置

摘要

提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(10)的装置(100)。所述装置(100)包括检查组件(110)，所述检查组件被配置为检测第一基板上的第一线路图案(13)的第一尺寸；处理设备(120)，所述处理设备被配置为在所述第一线路图案(13)上方提供第二线路图案(14)，以便形成组合的线路图案(12)，其中所述检查组件(110)还配置为检测所述组合的线路图案(12)的第二尺寸；以及对准设备(130)，所述对准设备被配置为基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备(120)和第二基板中的至少一者对准。

主权项

一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置，所述装置包括：检查组件，所述检查组件被配置为检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸；处理设备，所述处理设备被配置为在所述第一线路图案上方提供第二线路图案，以便形成组合的线路图案，其中所述检查组件还配置为检测所述组合的线路图案的第二尺寸；以及对准设备，所述对准设备被配置为基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备和第二基板中的至少一者对准。