[实用新型]一种自对准功率半导体芯片测试夹具

摘要

本实用新型的名称是一种自对准功率半导体芯片测试夹具。属于功率半导体器件测试技术领域。它主要是解决现有测试操作过程繁琐、效率低、易造成芯片测试数据偏差和芯片外观划伤及损坏的问题。它的主要特征是上夹具由阴极板、定位弹簧、导向套、阴极压块、阴极取样探头和中心门极取样探头组成；定位弹簧、阴极压块的上端固定在阴极板上，下端位于导向套内并与导向套固定连接；阴极取样探头和中心门极取样探头安装在阴极压块上；所述下夹具由承片盘和阳极取样探头组成；所述承片盘与导向套之间设有配合的芯片定位凹槽、定位凸台。本实用新型具有芯片对准更换方便、附加压降小、测试操作简单和使用效率高的特点，主要用于功率半导体器件芯片测试。

主权项

一种自对准功率半导体芯片测试夹具，其特征在于：包括上夹具和下夹具；所述上夹具由阴极板（1）、定位弹簧（2）、导向套（3）、阴极压块（4）和取样探头组成；其中，定位弹簧（2）、阴极压块（4）的上端固定在阴极板（1）上，下端位于导向套（3）内并与导向套（3）固定连接；取样探头包括阴极取样探头（5）或者包括阴极取样探头（5）和中心门极取样探头（6），安装在阴极压块（4）上；所述下夹具由承片盘（7）和阳极取样探头（8）组成，阳极取样探头（8）安装在承片盘（7）的中阳极取样孔内；所述承片盘（7）上设有芯片定位凹槽，导向套（3）上设有与该芯片定位凹槽配合的定位凸台。