[实用新型]一种机械手臂

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种应用于从货架上取放光罩盒的机械手臂，通过设置双向气缸使得第一手臂和第二手臂之间的距离伸长和缩短，以利于取放光罩盒，并于双向气缸上设置位置传感器，于第一手臂和第二手臂上设置活动销、挡片和光线传感器，以在机械手臂取放光罩盒时位置传感器和光线传感器发出指示信号，从而可以及时发现取放动作异常，停止机械手臂异常动作，避免光罩盒受损，进而提高机台稳定性和可靠性，减少宕机现象。

主权项

一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂总成、双向气缸、第一手臂和第二手臂；所述双向气缸安装在所述手臂总成上，所述第一手臂通过连接杆连接所述双向气缸的一端，所述第二手臂通过连接杆连接所述双向气缸的另一端；其中，所述第一手臂和所述第二手臂上均设置有活动销、第一弹簧、挡片和光线传感器，所述挡片通过所述第一弹簧与所述活动销连接，所述活动销临近所述第一手臂和所述第二手臂的内侧设置，以在所述机械手臂取物体时，所述活动销受力移动，进而带动所述挡片移动至所述光线传感器的发送端和接收端之间阻断光线通路，使所述光线传感器发出指示信号。