[实用新型]一种图形电镀测试单元有效
申请号: | 201621252358.4 | 申请日: | 2016-11-22 |
公开(公告)号: | CN206300604U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 李江;胡志杨;徐文中;潘捷 | 申请(专利权)人: | 江门崇达电路技术有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 龙丹丹 |
地址: | 529000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型所述的图形电镀测试单元,包括一测试板,测试板上分布有有效单元区和切片测试区,有效单元区内设置有线路层或铜面层,切片测试区内及其周边具有与所述有效单元区相似的线路层或铜面层。在测试板区域内划分出有效单元区和切片测试区,将切片测试区内的图形设置为与有效单元区内的图形相似或相同,这种设置方式使切片测试区内的电流分布与有效单元区内的电流分布差异很小,减少了电流分布对铜厚分布不均的影响,最终使切片测试区图形电镀后的铜层厚度可以真实、准确反映有效单元区内的电镀铜层厚度,更加有利于电镀首件铜层厚度的判定,无需多次对测试板进行切片测试,提高了测试效率,降低了电路板的报废率,从而降低了测试成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 图形 电镀 测试 单元 | ||
【主权项】:
一种图形电镀测试单元,其特征在于,包括一测试板,所述测试板上分布有有效单元区和切片测试区,所述有效单元区内设置有线路层或铜面层,所述切片测试区内及切片测试区周边设置有与所述有效单元区相似的线路层或铜面层。
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