[实用新型]微调系统以及空间光调制器微调系统有效
| 申请号： | 201621282433.1 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292530U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曹宁飞 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种微调系统以及空间光调制器微调系统，涉及光刻技术领域，包括直线滑台装置、测角仪滑台装置与微调设备，直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节微调设备的位置，测角仪滑台装置根据相对于纵轴方向垂直的水平面，通过沿纵轴转动角度调节微调设备的位置；一种空间光调制器微调系统，包括直线滑台装置、测角仪滑台装置与空间光调制器，直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节空间光调制器的位置，测角仪滑台装置根据相对于纵轴方向垂直的水平面，通过沿纵轴转动角度调节空间光调制器的位置。能够使空间光调制器安装和设备的调试方便、简单，降低机加工的精度要求，减少机加工件费用。 | ||
| 搜索关键词： | 微调 系统 以及 空间 调制器 | ||
【主权项】：
一种微调系统，其特征在于，包括：直线滑台装置、测角仪滑台装置与微调设备；所述直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节所述微调设备的位置；所述测角仪滑台装置根据相对于所述纵轴方向垂直的水平面，通过沿所述纵轴转动角度调节所述微调设备的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津津芯微电子科技有限公司，未经天津津芯微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621282433.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多边形显示器
- 下一篇：光刻机环境监测系统及其远程监控系统
