[实用新型]粗动台防转装置和粗动台组件有效
| 申请号： | 201621295995.X | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207051661U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋;李志龙;方洁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种粗动台防转装置和粗动台组件，该粗动台防转装置包括设置在线缆台上的防撞臂、与粗动台固接的连接框架以及缓冲单元，其中，所述连接框架围绕在所述防撞臂的外围，所述缓冲单元设置在所述连接框架上，并呈三点围绕布置在所述防撞臂外围。本实用新型通过设置防撞臂和连接框架，两者配合将粗动台各自由度限制在安全范围内，并设置缓冲单元，在粗动台异常运动与防转装置发生碰撞时起到缓冲减摩作用，同时通过将测量基准转移到面型更加稳定精确的防撞臂上，可对粗动台位置进行更精确的检测，方便工件台初始化测校和双台交换时的零位对准。 | ||
| 搜索关键词： | 粗动台防转 装置 粗动台 组件 | ||
【主权项】：
一种粗动台防转装置，其特征在于，包括：设置在线缆台上的防撞臂、与粗动台固接的连接框架以及缓冲单元，其中，所述线缆台设置在所述粗动台一侧，所述连接框架围绕在所述防撞臂的外围，所述缓冲单元设置在所述连接框架上，并呈三点围绕布置在所述防撞臂外围。
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