[实用新型]一种材料辐射致放气的在线测试装置有效
| 申请号： | 201621345502.9 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN206362660U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 罗艳;吴晓斌;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元；所述真空腔室系统包括真空腔室、样品台、样品和法兰窗口，所述抽气系统包括干式机械泵、磁悬浮分子泵、限流小孔、第一角阀、插板阀和第二角阀，所述供气系统包括气源、第一截止阀、微调阀、第二截止阀和气体流量控制器。该装置结构简单，操作方便，且可对质谱仪和有效抽速进行校准，测试结果更为真实精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 辐射 放气 在线 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括：真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元,其中,所述真空腔室系统包括一个真空腔室(1),所述真空腔室(1)内部放置待测样品(3)；所述辐射腔室系统与所述真空腔室系统通过法兰窗口(4)相连；所述抽气系统与所述真空腔室系统相连；所述供气系统与所述真空腔室系统相连，向所述真空腔室(1)通入各类气体；所述检测组件包括真空规(19)和质谱仪(20)；所述数控采集单元用于控制真空泵组、辐射源(6)和检测组件的开关，在线实时采集真空数据，对所采集的数据进行保存和计算。
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