[实用新型]一种硅片检查台图像摄像系统有效
| 申请号： | 201621374720.5 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206294280U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姚军;顾宁 | 申请（专利权）人： | 上海精典电子有限公司 |
| 主分类号： | H04N7/18 | 分类号： | H04N7/18;H04N5/225;H01L21/66;G02B21/36 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 顾正超 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种硅片检查台图像摄像系统，包括显微镜；摄像头镜筒，连接于所述显微镜；中继光学镜头，连接于所述摄像头镜筒；摄像头，连接于所述中继光学镜头，其中，所述摄像头镜筒包括多组光学镜片，分别卡合于所述摄像头镜筒内壁的卡槽中。本实用新型提出的硅片检查台图像摄像系统，通过改造现有系统，建立了微图像摄像系统，节约了采购新设备所需的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检查 图像 摄像 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，包括：显微镜；摄像头镜筒，连接于所述显微镜；中继光学镜头，连接于所述摄像头镜筒；摄像头，连接于所述中继光学镜头，其中，所述摄像头镜筒包括多组光学镜片，分别卡合于所述摄像头镜筒内壁的卡槽中。
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