[实用新型]一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板

摘要

本实用新型提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，涉及一种等离子体增强新型电极板技术领域。该实用新型包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰，电极杆结构的顶端与喷淋头电极板结构连接，电极板结构上设置有安装法兰，喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩，喷淋头屏蔽罩设置在喷淋头电极板的外侧，喷淋头电极板与喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷，电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套，电极杆屏蔽套设置在电极杆的外侧，电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头。本实用新型解决了对传统电极板引线辉光而干扰电极板的正常起辉，造成的功率损耗，辉光不稳定，影响成膜质量问题。

主权项

一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰，所述电极杆结构的顶端与所述喷淋头电极板结构连接，所述电极板结构上设置有安装法兰，所述喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩，所述喷淋头屏蔽罩设置在所述喷淋头电极板的外侧，所述喷淋头电极板与所述喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷，所述电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套，所述电极杆屏蔽套设置在所述电极杆的外侧，所述电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头，所述绝缘陶瓷气路接头与外部进气管连接。