[实用新型]一种掩膜板的检查装置

摘要

本实用新型提供一种掩膜板的检查装置，包括底座，所述底座是由底板和两侧的竖板拼接成的U形支架，两侧竖板外侧各安装有一个旋转电机，两个旋转电机对称安装，两个旋转电机的转轴穿过竖板连接旋转框架，掩膜板通过夹紧装置固定于旋转框架上，通过旋转电机带动掩膜板旋转；包括配套设置的电气控制按键板和电气控制柜，所述电气控制按键板和电气控制柜连接旋转电机、水平定位装置和旋转限位装置，通过水平定位装置控制掩膜板的水平位置，通过旋转限位装置控制掩膜板的正反旋转角度。实现对大尺寸掩膜板正反两面的宏观检查，以及对其进行简单的清洁功能。

主权项

一种掩膜板的检查装置，其特征在于：包括底座，所述底座是由底板和两侧的竖板(4)拼接成的U形支架，两侧竖板(4)外侧各安装有一个旋转电机(2)，两个旋转电机对称安装，两个旋转电机的转轴穿过竖板(4)连接旋转框架(5)，掩膜板(6)通过夹紧装置固定于旋转框架(5)上，通过旋转电机(2)带动掩膜板(6)旋转；包括配套设置的电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)，所述电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)连接旋转电机(2)、水平定位装置(7)和旋转限位装置(8)，通过水平定位装置(7)控制掩膜板(6)的水平位置，通过旋转限位装置(8)控制掩膜板(6)的正反旋转角度。