[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构有效
| 申请号： | 201621452397.9 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN206282874U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 侯想;刘杨;陈锋 | 申请（专利权）人： | 福建中晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 364000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构，包括容器、图形化蓝宝石衬底，其特征在于它还包括显影液、氮气输入管、流量管、控制阀、流量表、喷头；氮气通过氮气输入管输送于容器，与显影液混合后通过流量管输送于图形化蓝宝石衬底底部进行清洗，其清洗用的流量管采用45°安装，再通过控制阀与流量表进行流量控制，可有效防止显影液输出时产生的气泡影响清洗效率，以提高图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗效率及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 涂胶 清洗 结构 | ||
【主权项】：
一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构，包括容器（1）、图形化蓝宝石衬底（8），其特征在于它还包括显影液（2）、氮气输入管（3）、流量管（4）、控制阀（5）、流量表（6）、喷头（7）；所述的显影液（2）位于容器（1）内；所述氮气输入管（3）与容器（1）瓶口上的密封盖配合安装，且氮气输入管（3）伸入容器（1）内一定的长度；所述的流量管（4）分为流量输入管（4‑1）与流量输出管（4‑2）；流量管（4）与容器（1）瓶口上的密封盖配合安装，且与氮气输入管（3）相邻；流量输入管（4‑1）伸入容器（1）底部，置于显影液（2）中；流量输出管（4‑2）设于容器（1）外部，倾斜安装于图形化蓝宝石衬底（8）底部；所述的控制阀（5）安装于流量输出管（4‑2）上，位于容器（1）密封盖与流量表（6）之间；所述的流量表（6）安装于流量输出管（4‑2）上，位于控制阀（5）与喷头（7）之间；所述的喷头（7）与流量输出管（4‑2）的输出口配合安装，位于图形化蓝宝石衬底（8）底部。
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