[实用新型]一种晶圆级测试装置有效
申请号: | 201621457209.1 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN207557414U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 顾培东;胡依光 | 申请(专利权)人: | 上海捷策创电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海国智知识产权代理事务所(普通合伙) 31274 | 代理人: | 潘建玲 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆级测试装置,该测试装置包括:测试盖、测试座以及测试板,所述测试盖用于将WLCSP测试芯片压入所述测试座,与所述测试座内部的测试探针接触,所述测试座与所述测试板接触,以通过所述测试探针传输所述测试板中输出的信号到WLCSP测试芯片,通过本实用新型,可以在测试座上设计多个Site进行测试,减少了测试装置的空间,增加了产能产出。 | ||
搜索关键词: | 测试座 测试装置 测试板 本实用新型 测试探针 测试芯片 测试 种晶 产能 压入 传输 输出 | ||
【主权项】:
1.一种晶圆级测试装置,包括:测试盖、测试座,其特征在于,还包括测试板,所述测试盖用于将WLCSP测试芯片压入所述测试座,与所述测试座内部的测试探针接触,所述测试座与所述测试板接触,以通过所述测试探针传输所述测试板中输出的信号到WLCSP测试芯片。
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