[实用新型]一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮有效
| 申请号： | 201621463614.4 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206516619U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋冬;史公彬 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人： | 尉伟敏,方琦 |
| 地址： | 310053 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮，牵引滚轮呈分段间隙式结构，牵引滚轮上设有多组压轮组，每组压轮组对应相应列的太阳能电池，压轮组包括多个间隔的压轮，本实用新型采用分段间隔式牵引滚轮，可大大减少对经过产品的吸附力，使其行进平稳，不会使产品表面的水膜因不稳晃动而流至产品端面，造成产品背面局部浸润，同时，在挤压时还可通过压轮间隙而卸压，使水膜均匀铺满整个产品表面而不会流入产品侧边和背面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 湿法 刻蚀 铺设 牵引 滚轮 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮，牵引滚轮(1)位于沿输送方向上的水刀(2)位置的后方，牵引滚轮对应铺设于支撑滚轮(3)上且沿输送方向行进的多列太阳能电池(4)，牵引滚轮均匀挤压太阳能电池表面上的水膜，其特征在于：所述的牵引滚轮呈分段间隙式结构，牵引滚轮上设有多组压轮组(11)，每组压轮组对应相应列的太阳能电池且宽度与太阳能电池宽度相吻合，所述压轮组包括多个间隔的压轮(111)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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