[实用新型]一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗有效
| 申请号： | 201621471329.7 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206601515U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;王祥;蒋小强;满小忠;向德成;张峰伟 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 | 代理人： | 李成运 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，包括观察窗本玻璃压板及玻璃冷却板；观察窗本体包括玻璃固定板和玻璃固定板上安装的观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有环形的导流沟槽，玻璃压板上安装有吹扫装置，导流沟槽与吹扫装置的送气口相通，在玻璃冷却板上设有与导流沟槽相通的若干进气孔，各个进气孔的吹气方向均朝向观察玻璃；玻璃冷却板上设有用于与沉积腔体门密封的第一密封件；玻璃压板上设有用于与所述玻璃固定板之间密封的第二密封件、以及用于与所述观察玻璃之间密封的第三密封件。本实用新型结构简单，设计合理，保证观察玻表面的透明度，使得整个沉积工艺过程中，激光发射端发射的激光，接收端都能够稳定接收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 vad 沉积 工艺 观察窗 | ||
【主权项】：
一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：包括观察窗本体及观察窗本体一侧设置的玻璃压板、另一侧设置的玻璃冷却板；所述观察窗本体包括玻璃固定板和玻璃固定板上安装的观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有环形的导流沟槽，所述玻璃压板上安装有吹扫装置，所述导流沟槽与所述吹扫装置的送气口相通，在玻璃冷却板上设有与导流沟槽相通的若干进气孔，各个进气孔的吹气方向均朝向所述观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有用于与沉积腔体门密封的第一密封件；所述玻璃压板上设有用于与所述玻璃固定板之间密封的第二密封件、以及用于与所述观察玻璃之间密封的第三密封件。
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