[实用新型]电子源器件有效
| 申请号： | 201621474934.X | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206293403U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/07 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电子源器件，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极。射频感抗匹配网络连接射频电源和射频线圈，绝缘电离腔体罩设于正离子收集极，且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有发射孔，起辉维持极开设有与发射孔对应的通孔；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，射频线圈套设于绝缘电离腔体外侧。将射频电源作为电子源器件的驱动电源，无需灯丝加热，无耗材，工作时间超过1000小时以上，且对散热要求低，提高了电子源器件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 器件 | ||
【主权项】：
一种电子源器件，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极，所述射频感抗匹配网络连接所述射频电源和所述射频线圈，所述绝缘电离腔体罩设于所述正离子收集极，且与所述正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；所述绝缘电离腔体开设有发射孔，所述起辉维持极开设有与所述发射孔对应的通孔；所述正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，所述射频线圈套设于所述绝缘电离腔体外侧。
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