[实用新型]匀胶显影设备异常监控系统有效
| 申请号： | 201621490072.X | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206421161U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 邓涛;周文林 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种匀胶显影设备异常监控系统，该监控系统包括依次连接的传感器、主控装置以及提示装置，所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号，所述主控装置包括传感信号传递模块；微处理器，通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接，所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器，所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号；以及存储模块，用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息，所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。根据本实用新型的监控系统，能在匀胶显影设备的工作条件异常时发出提示，主控装置包括的存储模块能记录工作条件的异常信息，从而在设备发出异常提示时更方便对异常的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 设备 异常 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种匀胶显影设备异常监控系统，其特征在于，所述监控系统包括：依次连接的传感器、主控装置以及提示装置，所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号，所述主控装置包括：传感信号传递模块；微处理器，通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接，所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器，所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号；以及存储模块，用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息，所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。
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