[实用新型]用于光刻机上的真空检测装置有效
| 申请号： | 201621492895.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206421158U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 周文林;邓涛 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种用于光刻机上的真空检测装置，其包括真空导管，与光刻机的吸附装置连接；以及数字真空压力传感器，包括真空输入口与信号输出端，所述真空输入口与所述真空导管连接，所述信号输出端直接与所述光刻机的信号接收模块相连接。该真空检测装置采用数字真空压力传感器代替现有的模拟真空压力传感器，并将数字真空压力传感器的信号输出端直接与光刻机的信号接收模块相连接，省去了传统真空检测装置上设置的比较模块，结构更精简，并且对光刻机的吸附装置的真空检测的灵敏度更高，检测结果更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，包括：真空导管，与光刻机的吸附装置连接；以及数字真空压力传感器，包括真空输入口与信号输出端，所述真空输入口与所述真空导管连接，所述信号输出端直接与所述光刻机的信号接收模块相连接。
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