[实用新型]硅片清洗机烘道结构有效
| 申请号： | 201621493195.9 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206430510U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张健 | 申请（专利权）人： | 江苏奥明能源有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/04 | 分类号： | F26B15/04;F26B21/00;F26B23/04 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机烘道结构。现有的硅片清洗机烘道不仅在整个烘道内全部设有加热烘干装置，耗能高，而且烘道壁多采用塑料结构，防火性能差，保温效果不好，需要烘道内的加热烘干装置频繁启动进行加热，加热烘干装置使用寿命短，针对上述问题，本实用新型公开了一种硅片清洗机烘道结构，包括烘道、输送链，所述输送链设置在烘道内，硅片篮放置在输送链上，所述烘道包括依次相连的第一烘道和第二烘道，所述第一烘道内设置有热辐射电加热装置，所述第二烘道顶部设有出风口，所述出风口与负压风机相连，所述第一烘道和第二烘道的烘道壁均包括三层结构，由内向外依次为防火层、空气层和保温层。本实用新型具有能耗低、防火和保温性能好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 机烘道 结构 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗机烘道结构，包括烘道(1)、输送链(2)，所述输送链(2)设置在烘道(1)内，硅片篮(3)放置在输送链(2)上，其特征在于：所述烘道(1)包括依次相连的第一烘道(101)和第二烘道(102)，所述第一烘道(101)内设置有热辐射电加热装置(4)，所述第二烘道(102)顶部设有出风口(5)，所述出风口(5)与负压风机(6)相连，所述第一烘道(101)和第二烘道(102)的烘道壁均包括三层结构，由内向外依次为防火层(7)、空气层(8)和保温层(9)。
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