[发明专利]树脂膜形成用片及树脂膜形成用复合片有效
| 申请号： | 201680003816.7 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN107001876B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 小桥力也;佐伯尚哉;米山裕之 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/20 | 分类号： | C09J7/20;C09J7/30;B32B27/30;B32B27/20;B32B27/06;B32B9/00;B32B9/04;B32B33/00;B32B27/26;C09J11/04;C09J133/00;C09J163/00;C09J201/00;H01L21/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王利波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供再剥离性优异的树脂膜形成用片、以及具有该树脂膜形成用片和支撑体直接叠层而成的结构的树脂膜形成用复合片，所述树脂膜形成用片是粘贴于硅晶片、用于在该硅晶片上形成树脂膜的片，其中，待与硅晶片粘贴一侧的该片的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为40nm以上。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 形成 复合 | ||
【主权项】：
一种树脂膜形成用片，其是粘贴于硅晶片、用于在该硅晶片上形成树脂膜的片，其中，待与硅晶片粘贴一侧的该片的表面(α)的表面粗糙度(Ra)为40nm以上。
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