[发明专利]Mn-Zn-W-O类溅射靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201680005746.9 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN107148495B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 菅原淳一;加守雄一;德竹房重 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/00;C04B35/453;G11B7/243 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;李炳爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供Mn‑Zn‑W‑O类溅射靶材中耐裂性优异的溅射靶材及其制造方法。本发明的Mn‑Zn‑W‑O类溅射靶材的特征在于，在成分组成中含有Mn、Zn、W和O，在前述溅射靶材的X射线衍射中，来源于仅由Mn和O构成的锰氧化物的峰的最大峰强度PMnO与来源于W的峰的最大峰强度PW之比PMnO/Pw为0.027以下。 | ||
| 搜索关键词： | mn zn 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.溅射靶材，其为在成分组成中含有Mn、Zn、W和O的Mn‑Zn‑W‑O类溅射靶材，其特征在于，在前述溅射靶材的X射线衍射中，来源于仅由Mn和O构成的锰氧化物的峰的最大峰强度PMnO与来源于W的峰的最大峰强度Pw之比PMnO/Pw为0.027以下。
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