[发明专利]控制系统、控制装置、控制方法以及非暂时性存储介质

摘要

提供一种能够抑制对设备运用带来的影响、并且能够进行极值控制的控制系统。实施方式的控制系统(100)具有干扰信号取得部、控制量信息取得部、高频振动信号生成部(130)、评价值计算部(140)以及极值控制部(150)。高频振动信号生成部(130)在控制对象工艺的控制中参照干扰信号生成用于使向控制对象工艺提供的操作量变动的高频振动信号。评价值计算部(140)基于控制量信息，计算成为对控制对象工艺的控制量进行评价的指标的评价值。极值控制部(150)进行以下极值控制：基于由高频振动信号生成部生成的高频振动信号使操作量变动，一边搜索评价值的极值一边控制操作量。

主权项

一种控制系统，基于干扰对向控制对象工艺提供的操作量进行控制，具备：干扰信号取得部，取得表示所述干扰的干扰信号；控制量信息取得部，取得表示所述控制对象工艺的控制量的控制量信息；高频振动信号生成部，在所述控制对象工艺的控制中，参照所述干扰信号生成高频振动信号，该高频振动信号用于使向所述控制对象工艺提供的操作量变动；评价值计算部，基于所述控制量信息，计算成为对所述控制对象工艺的控制量进行评价的指标的评价值；以及极值控制部，进行以下极值控制：基于由所述高频振动信号生成部生成的所述高频振动信号使所述操作量变动，一边搜索所述评价值的极值一边控制所述操作量。