[发明专利]掩模组件和相关联的方法

摘要

一种方法，包括以下步骤：接收包括掩模和由表膜框架保持的可去除的EUV透明表膜的掩模组件，将表膜框架和EUV透明表膜从掩模上去除，使用检查工具检查掩模上的掩模图案以及随后将由表膜框架保持的EUV透明表膜附接至掩模。方法还可以包括以下步骤：在将表膜框架和EUV透明表膜从掩模上去除之后，将保持着备选表膜的备选表膜框架附接至掩模，备选表膜由对于检查工具的检查射束基本上透明的材料形成；以及在使用检查工具检查掩模上的掩模图案之后，将由备选表膜框架保持的备选表膜从掩模上去除，以便将由表膜框架保持的EUV透明表膜附接至掩模。

主权项

一种方法，包括以下步骤：接收掩模组件，所述掩模组件包括掩模、和由表膜框架保持的可去除的EUV透明表膜；将所述表膜框架和所述EUV透明表膜从所述掩模上去除；使用检查工具检查所述掩模上的掩模图案；以及随后将由表膜框架保持的EUV透明表膜附接至所述掩模。