[发明专利]检查方法及检查装置

摘要

检查装置具备：测试单元，其对半导体设备施加刺激信号；MO晶体，其与半导体设备相对地配置；光源，其输出光；光扫描器，其将光源所输出的光照射至MO晶体；光检测器，其检测自与半导体设备(D)相对地配置的MO晶体反射的光，并输出检测信号；及计算机，其基于根据刺激信号生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，并根据该相位图像数据，生成表示电流的路径的图像。

主权项

一种检查方法，其特征在于，是通过对测量对象物施加刺激信号而获取所述测量对象物所产生的电流的路径的检查方法，包括：对所述测量对象物施加刺激信号的步骤；对与所述测量对象物相对地配置的磁光晶体照射光的步骤；检测对应于所照射的所述光而自所述磁光晶体反射的光，并输出检测信号的步骤；基于根据所述刺激信号生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示所述电流的路径的图像的步骤。