[发明专利]内部温度测定装置和温差测定模块

摘要

内部温度测定装置具有MEMS器件，该MEMS器件配置于基材上，并且具有顶面部21和支撑部22，所述顶面部21包括用于测定在内部温度的计算中使用的第一温差的第一热电堆24b和用于测定与第一温差一起用于内部温度的计算的第二温差的第二热电堆24d，从构成第一热电堆24b的各热电偶的热接点观察冷接点的方向与从构成第二热电堆24d的各热电偶的热接点观察冷接点的方向一致。

主权项

一种内部温度测定装置，用于对测定对象物的内部温度进行测定，其特征在于，具有：基材，在计算所述测定对象物的内部温度时，该基材的一个面与所述测定对象物的表面接触，MEMS器件，配置于所述基材的另一个面上，用于测定在所述测定对象物的内部温度的计算中所使用的第一温差与第二温差，该MEMS器件具有：顶面部，包括用于测定所述第一温差的第一热电堆以及用于测定所述第二温差的第二热电堆；支撑部，用于支撑所述顶面部且设置有到达所述顶面部的一个以上的空洞；从构成所述第一热电堆的各热电偶的热接点观察冷接点的方向与从构成所述第二热电堆的各热电偶的热接点观察冷接点的方向一致。