[发明专利]元件制造方法有效
| 申请号： | 201680011270.X | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107251422B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 渡边启一郎 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H01L41/29;H01L41/332;H01L41/338 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种元件制造方法。本发明的元件制造方法包括：第1工序，得到被加工物(100)的面方向上的厚度分布；第2工序，根据所述厚度分布与期望的膜厚分布的差分，计算出加工量分布；第3工序，根据所述加工量分布，对所述被加工物进行局部加工；第4工序，在所述第3工序之后，将所述被加工物的面内区分成多个元件部，在各元件部形成电极；以及第5工序，按多个所述元件部的每一个进行分割，形成多个元件。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种元件制造方法，包括：第1工序，得到具有基准面的被加工物的面方向上的厚度分布；第2工序，根据所述厚度分布与期望的膜厚分布的差分，计算出加工量分布；第3工序，根据所述加工量分布对所述被加工物进行局部加工；第4工序，在所述第3工序之后，将所述被加工物的面内区分成多个元件部，在各元件部形成电极；以及第5工序，按多个所述元件部的每一个进行分割，形成多个元件。
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