[发明专利]用于确定抗蚀剂变形的方法有效
| 申请号： | 201680016535.5 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107430351B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种计算机实施的方法，该方法包括：假设在垂直于第一方向的任何方向上不存在变形的情况下，获得抗蚀剂层(1050)在第一方向上的变形的至少一个特性；假设在所述第一方向上不存在变形的情况下，获得所述抗蚀剂层在第二方向上的变形的至少一个特性，所述第二方向垂直、不同于所述第一方向；基于在所述第一方向上的所述变形的所述特性和在所述第二方向上的所述变形的所述特性获得所述抗蚀剂层的三维变形的至少一个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 抗蚀剂 变形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种计算机实施的方法，包括：假设在垂直于第一方向的任何方向上不存在变形的情况下，获得抗蚀剂层在第一方向上的变形的至少一个特性；假设在所述第一方向上不存在变形的情况下，获得所述抗蚀剂层在第二方向上的变形的至少一个特性，所述第二方向不同于所述第一方向；基于在所述第一方向上的所述变形的所述特性以及在所述第二方向上的所述变形的所述特性获得所述抗蚀剂层的三维变形的至少一个特性。
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