[发明专利]压印用固化性组合物、固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模

摘要

本发明提供一种能够兼顾提高脱模性和抑制蚀刻时产生起伏的压印用固化性组合物以及使用了上述压印用固化性组合物的固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模。一种压印用固化性组合物，其含有：单官能聚合性化合物；多官能聚合性化合物，包含脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为150mPa·s以下；及光聚合引发剂，所述压印用固化性组合物中，相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有5～30质量％的上述单官能聚合性化合物，上述压印用固化性组合物的固化膜的弹性模量为3.5GPa以下且玻璃化转变温度为90℃以上。

主权项

一种压印用固化性组合物，其含有：单官能聚合性化合物；多官能聚合性化合物，包含脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为150mPa·s以下；及光聚合引发剂，所述压印用固化性组合物中，相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有超过5质量％且小于30质量％的所述单官能聚合性化合物，所述压印用固化性组合物的固化膜的弹性模量为3.5GPa以下且玻璃化转变温度为90℃以上，其中，弹性模量是指，针对厚度20μm的压印用固化性组合物的固化膜，利用显微硬度计测定而得的值，此时的压头为棱间角115°的三棱锥形，试验力为10mN，负载速度为0.142mN/秒，保持时间为5秒，测定时的温度为25℃，湿度为50％。