[发明专利]氩气的纯化方法以及氩气的回收纯化装置有效
| 申请号： | 201680016958.7 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107428532B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黑泽靖志;松嶋秀明 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氩气的纯化方法，其是向作为杂质含有氢、一氧化碳、氧的氩气中，添加氧而在催化塔中将氢和一氧化碳转换为水和二氧化碳，或添加氢而将氧转换为水的氩气的纯化方法，其特征在于，具有：在催化塔出口侧监测氢、一氧化碳、氧的工序；以及在催化塔出口侧检测出氢以及一氧化碳中的任一种的情况下向氩气中添加氧的工序、和在检测出氧的情况下添加氢的工序中的至少一种工序，相对于氩气被连续地供给至催化塔，间歇性地进行被添加至催化塔的氧或氢的添加。由此，提供一种氩气的纯化方法，其通过向作为杂质含有氢、一氧化碳、氧的氩气中间歇性地添加氧以及氢，从而不需要用于除去剩余的氧、氢的金属塔，设备成本低廉且不易发生故障。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 方法 以及 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种氩气的纯化方法，其通过向作为杂质含有氢、一氧化碳、以及氧中的至少一种以上的氩气中，添加氧而在催化塔中用催化反应将在所述氩气中含有的氢和一氧化碳转换为水和二氧化碳，或添加氢而在所述催化塔中用催化反应将在所述氩气中含有的氧转换为水，从所述氩气中除去氢、一氧化碳、以及氧中的至少一种以上，其特征在于，具有：在所述催化塔的出口侧监测氢、一氧化碳、以及氧中的至少一种的工序；以及在所述催化塔的出口侧检测出氢以及一氧化氧中的任一种的情况下在所述催化塔的入口侧向所述氩气中添加氧的工序、和在所述催化塔的出口侧检测出氧的情况下在所述催化塔的入口侧向所述氩气中添加氢的工序中的至少一种工序，相对于所述氩气被连续地供给至所述催化塔，间歇性地进行被添加至所述催化塔的氧或氢的添加，从而除去在所述氩气中含有的氢、一氧化碳、以及氧中的任意一种以上。
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