[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法有效
| 申请号： | 201680020549.4 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107533303B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 内藤一夫;青木保夫;长岛雅幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G02F1/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 透过投影光学系(30)对基板(P)照射照明光(IL)，并对基板(P)相对驱动投影光学系(PL)以进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备进行设于基板(P)的标记(Mk)的标记检测的对准显微镜(62、64)、驱动对准显微镜(62、64)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以在投影光学系(40)的驱动前先进行对准显微镜(62、64)的驱动的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，即能抑制曝光处理所需的生产时间。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平面 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，并相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光，其特征在于其具备：标记检测部，用以进行设在该物体的标记的标记检测；第1驱动系，是驱动该标记检测部；第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及控制装置，是以在该投影光学系的驱动前先进行该标记检测部的驱动的方式控制该第1及第2驱动系。
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