[发明专利]处理工具监视有效
| 申请号： | 201680021553.2 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN107533572B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | M.穆尼;V.乔治 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G06Q10/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;郑冀之 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于监视至少一个处理工具的监视装置、方法和计算机程序产品。用于在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具的监视装置包括：接收逻辑，其可操作成接收在外排流的处理期间生成的处理特性数据；分离逻辑，其可操作成将处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；以及故障逻辑，其可操作成在确定所述情况的状态时利用做贡献的处理特性数据并且排除不做贡献的处理特性数据。以此方式，在确定该工具的情况的状态时仅使用在有助于工具的情况的时段期间生成的数据。忽略或省略在未有助于所述情况的时段期间生成的其它数据，使得可以确定对工具的情况的状态的准确评定。这帮助提供对工具的情况的状态的准确且更加可靠的评定。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 工具 监视 | ||
【主权项】：
一种监视装置，用于在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具，所述监视装置包括：接收逻辑，其可操作成接收在所述外排流的所述处理期间生成的处理特性数据；分离逻辑，其可操作成将所述处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；以及故障逻辑，其可操作成在确定所述情况的状态时利用所述做贡献的处理特性数据并且排除所述不做贡献的处理特性数据。
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